Für vielfältige spezielle Anforderungen hat BMT Meß- und Prüfvorrichtungen konzipiert und gebaut. Viele Fachrichtungen profitierten von unserer langjährigen Erfahrung im Meßgerätebau, z.B. Maschinenbau, Elektrotechnik, Elektronik, Papier- und Glasherstellung, Halbleiter, Medizintechnik, Forschungsinstitute.

Gerne lösen wir Ihre Meßaufgaben. Wenden Sie sich an uns.

siliziumstruktur

pflaster papierfasern
Pflaster Papierfasern

Die Messstation besteht aus einem speziell für diese Messaufgabe konzipierten luftgelagerten Linearschlitten1-12 mit integriertem luftgelagertem Drehtisch. Wafer bis 300 mm können damit vermessen werden. Beide Bewegungen stützen sich auf einem Granitblock ab und dadurch entstehen keine relativen Positionsfehler wie z.B. Ebenheitsabweichungen.

Die Einheit ist aus einem massiven Granitblock gefertigt, die Verfahrschlitten aus Aluminium mit harteloxierter Oberfläche, 400x400x50 mm, mit integrierten Luftkanälen und Vakuumvorspannung. Eine Vakuumhalteplatte kann montiert werden. Die Seitenführungen sind aus Granit mit einer Linearität von 1 µm.

Die gesamte reinraumtaugliche Einheit sitzt auf passiven Schwingungsdämpfern und auf einem Metalluntergestell. Der Linearschlitten wird von einem Stahlband mit DC Motor über ein Getriebe bewegt um Schwingungen zu minimieren. Integriert in den Linearschlitten ist der luftgelagerte Rundtisch mit Durchmesser 300 mm. Er läuft koplanar auf der Granitgrundfläche mit Vakuumvorspannung und besitzt einen DC Motor mit Getriebe und Enkoder.

Die Profilmessung (warpage) erfolgt indem man eine Profillinie diagonal über den Wafer aufnimmt und dann den Wafer um einen vorgegebenen Winkel dreht und danach erneut eine Profillinie mißt. Alle Linien zusammen ergeben eine sternförmige Linienstruktur, die ausgewertet wird. Im Foto sieht man einen taktilen Taster aber natürlich lässt sich jeder geeignete opt. Sensor ebenso einsetzen.

So hat z.B. ein konfokaler oder Weißlicht Punktsensor eine kleine Messfleckgröße und hohe axiale Auflösung um auch Profildetails aufzulösen. Die Sensorsteuerkarte sitzt im PC, der Sensor selbst ist an einer Granitbrücke befestigt und wird in der Höhe manuell justiert.

Die Datenerfassungs- und Auswertesoftware läuft unter Windows 8. Nach Setzen aller erforderlichen Parameter (Messpunktdichte, Messlänge, etc.) wird die Messung mit Mausklick gestartet und die Ergebnisse kundenspezifisch angezeigt oder an einen anderen PC übertragen.

Nähere Angaben auf Anfrage.

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1-11Zur hochpräzisen Vermessung der Anströmkante und des Profilverlaufs derselben wurde diese Messvorrichtung gebaut. Sie basiert auf der Abtastung mit taktilen Tastern, da sich eine optische Messung aufgrund mehrerer widriger Umstände als nicht realisierbar herausstellte.

In einer Gesamtmesszeit von wenigen Sekunden muss das Schaufelprofil in mehreren Ebenen vermessen und diese Profillinien zu festen Bezugspunkten in Relation gesetzt werden.

Diese Messvorrichtung ist effizient, einfach zu warten, leicht zu bedienen und preislich unschlagbar.

Weitergehende Informationen auf Anfrage.

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Dieser an die visuelle Wahrnehmung angelehnte Kennwert Image Clarity ist von Bedeutung bei hochqualitativen Papieren wie z.B. Fotopapieren, Kalendern, Broschüren, etc.

Projiziert man eine Hell-/Dunkelgrenze auf eine Papieroberfläche, so ist die sog. Image Clarity ein Maß für die Ausfransung dieser Grenzlinie:

Die Messanlage dient zur Erfassung und Bewertung eines Hell-Dunkel-Übergangs eines Lichtflecks auf einer Papieroberfläche und der nachfolgenden Ableitung des Kennwerts Image Clarity. Das Messgerät wurde speziell für diesen Anwendungsfall konzipiert.2-11

Über die Software werden die Parameter gesetzt, die Messung durchgeführt und die Daten ausgewertet. Dieses Programm läuft unter Windows 8.

Es sind mehrere Auswertealgorithmen verfügbar zur AnaIyse der Image Clarity unter Auswertung der Speckle oder der MTF. Die mit diesem Instrument gemessenen Kennwerte korrelieren hervorragend mit einer durch Testpersonen erstellten Reihenfolge von bewerteten Papieren.

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Mit dieser Messstation lassen sich gleichzeitig Oberflächenprofile auf 2 Seiten eines Werkstückes messen und von diesen Daten die Dicke bzw. der Dickenverlauf linien- oder flächenhaft berechnen. Alle relevanten Parameter wie Punktdichte und Verfahrgeschwindigkeit können eingegeben werden.

Um die unvermeidliche Drift zu minimieren, messen die Sensoren in der Ruheposition auf einem Glassdickennormal. Zum Beladen bzw. Entladen wird das

Werkstück nach vorne gefahren. Die Software läuft unter Windows 8.

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Die Messstation besteht aus einer Granitgrundplatte und Granitbrücke an welcher die Sensorhalterung befestigt ist. Zwei sich gegenüberstehende Autofokussensoren sind an dieser Halterung befestigt. Jede Sensorposition kann so justiert werden, dass die beiden Messpunkte räumlich dicht beieinander liegen.

 

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Die Messgenauigkeit für das Linien- und Ebenheitsprofil ist < 0,1 µm.

 
 
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